布魯克bruker臺階儀輪廓儀可容納高達350mmx350mm的樣品,為大型晶圓和面板制造帶來Dektak®傳奇的可重復(fù)性。DektakXTL具有空氣振動隔離設(shè)計和全封閉工作站設(shè)計,具有易用的聯(lián)鎖門,是當(dāng)今苛刻的生產(chǎn)車間環(huán)境的的理想之選。其雙攝像頭架構(gòu)可增強空間感知能力,其高自動化水平可大限度地提高測試通量。
增強的軟件功能使DektakXTL成為功能強大、容易使用的探針式輪廓儀。該系統(tǒng)利用Vision64軟件,通過數(shù)百種內(nèi)置分析工具實現(xiàn)眾多的測量位點、3D成像和高度自定義的特征分析。Vision64軟件還能測量形狀,如曲率半徑。模式識別可大限度地減少操作員誤差并提高測量位置精度。集成化的軟件包將數(shù)據(jù)收集和分析與直觀的工作流程相結(jié)合。
DektakXTL以50布魯克bruker臺階儀輪廓儀多年的探針式輪廓儀的專業(yè)知識和生產(chǎn)設(shè)施的應(yīng)用程序定制為基礎(chǔ),以滿足當(dāng)今和未來嚴(yán)格的行業(yè)路線圖。300毫米高精度編碼XY樣品臺為制造商提供了滿足嚴(yán)格計量研發(fā)要求的可靠工具。
Dektak的雙攝像頭控制與高清放大雙視場相機提供增強的空間感知。實時視頻中的點擊定位使操作員能夠快速將樣品移動到正確的位置,以便快速輕松地進行測量設(shè)置和自動化編程。該系統(tǒng)的大型聯(lián)鎖門為樣品裝載/卸載提供了安全、方便的訪問。
其他硬件功能包括:
單拱形架構(gòu)和集成振動隔離系統(tǒng)
快速更換自對齊探針
高精度編碼XY樣品臺,實現(xiàn)更快的自動數(shù)據(jù)收集
N-Lite低力,采用軟觸控技術(shù),具有1mm測量范圍,可同時用于測量精密和高垂直范圍樣品