BRUKER納米壓痕儀主要用于測(cè)量納米尺度的硬度和彈性模量，可用于研究或測(cè)試薄膜等納米材料的接觸剛度、蠕變、彈性功、塑性功、斷裂韌性、應(yīng)力應(yīng)變曲線、疲勞、儲(chǔ)存模量、損耗模量等特性。
 

　　適用于有機(jī)或無(wú)機(jī)、軟或硬材料的檢測(cè)和分析，包括PVD、CVD、PECVD膜、光敏膜、彩色瓷漆、光學(xué)膜、微電子涂層、保護(hù)膜、裝飾膜等?；w可以是軟或硬的材料，包括金屬、合金、半導(dǎo)體、玻璃、礦物和有機(jī)材料。
 

　　BRUKER納米壓痕儀的使用優(yōu)勢(shì)：
 

　　(1)樣品制備簡(jiǎn)單。納米壓痕試驗(yàn)通常對(duì)樣品的表面粗糙度有特殊要求，對(duì)被測(cè)樣品的形狀和尺寸沒(méi)有特殊要求。壓痕深度為微納米級(jí)，這是一種無(wú)損檢測(cè)方法。
 

　　(2)高測(cè)量分辨率。
 

　　(3)易于操作。通過(guò)使用載荷-深度曲線，可以直接轉(zhuǎn)換接觸面積，而無(wú)需測(cè)量殘余壓痕面積。
 

　　(4)測(cè)試內(nèi)容豐富。通過(guò)納米壓痕試驗(yàn)可以獲得硬度、彈性模量、塑性參數(shù)、斷裂參數(shù)和粘彈性參數(shù)。
 

　　(5)納米壓痕儀具有廣泛的應(yīng)用。它可以廣泛應(yīng)用于許多材料和結(jié)構(gòu)的機(jī)械測(cè)試，如金屬、陶瓷、薄膜材料、復(fù)合材料、生物材料、特殊功能材料和MEMS中的微組件。
 

　　BRUKER納米壓痕儀的主要用途：
 

　　半導(dǎo)體技術(shù)；存儲(chǔ)材料(磁盤保護(hù)層、磁盤基底磁性涂層、CD保護(hù)層)；光學(xué)元件(隱形眼鏡、光纖、光學(xué)防劃傷層)；金屬蒸發(fā)涂層；耐磨涂層(TiN、TiC、DLC、刀具)；藥理學(xué)(片劑、植入物、生物組織)；工程(涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè)。