1、接觸式:
利用探針的針尖與待測物表面之原子力交互作用(一定要接觸),使非常軟的探針臂產(chǎn)生偏折,此時用特殊微小的雷射光照射探針臂背面,被探針臂反射的雷射光以二相的photodiode(雷射光相位偵檢器)來記錄雷射光被探針臂偏移的變化,探針與樣品間產(chǎn)生原子間的排斥力約為10-6至10-9牛頓。
2、非接觸式:
為了解決接觸式AFM可能損壞樣品的缺點,便有非接觸式AFM被發(fā)展出來,這是利用原子間的長距離吸引力─范德華力來運作。探針必需不與待測物表面接觸,利用微弱的范德華力對探針的振幅改變來回饋。探針與樣品的距離及探針振幅需遵守范德華力原理,因此造成探針與樣品的距離不能太遠,探針振幅不能太大(約2至5nm),掃描速度不能太快等限制。樣品置放于大氣環(huán)境下,濕度超過30%時,會有一層5至10nm厚的水分子膜覆蓋于樣品表面上,造成不易回饋或回饋錯誤。
3、輕敲式AFM:
將非接觸式AFM加以改良,拉近探針與試片的距離,增加探針振幅功能(10~300KHz),其作用力約為10-12牛頓,Tappingmode的探針有共振振動,探針振幅可調(diào)整而與材料表面有間歇性輕微跳動接觸,探針在振蕩至波谷時接觸樣品,由于樣品的表面高低起伏,使得振幅改變,再利用回饋控制方式,便能取得高度影像。