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Diener 等離子表面處理儀 FEMTO

簡要描述：Diener 等離子表面處理儀 FEMTO特點：
· 低壓等離子系統(tǒng)，用于不同材料表面的處理

· 配置自動/手動模式，實現(xiàn)控制高機能

· 經(jīng)濟型等離子清洗機，小型腔體

· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

· 操作簡單易使用

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Diener 等離子表面處理儀 FEMTO

特點：

· 低壓等離子系統(tǒng)，用于不同材料表面的處理

· 配置自動/手動模式，實現(xiàn)控制高機能

· 經(jīng)濟型等離子清洗機，小型腔體

· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

· 操作簡單易使用

型號		FEMTO		FEMTO PCCE
控制系統(tǒng)		手動控制		PCCE 控制系統(tǒng)
工藝氣路		雙路或三路氣體
工藝氣體		O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等非腐蝕性氣體或者CF4 、SF6等腐蝕性氣體
單體導(dǎo)入		H2O，親疏水涂層等單體（選配）
流量計		針閥流量計（防腐蝕）		MFC流量計（防腐蝕）
真空腔體	材質(zhì)	高硼硅玻璃/石英蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗	不銹鋼蓋子門/鉸鏈門帶觀察窗		鋁合金鉸鏈門帶觀察窗
	圓形腔體內(nèi)尺寸(Φ×D)mm	95×280( 600)	100×278( 600)		—
	方形腔體內(nèi)尺寸（W×D×H）mm	—	103×285( 600)×103 mm		110×300( 600) ×120
	容積	2 L~4.2L	2.2L~6.4L		4L~8L
電極		360度外置環(huán)繞電極	平行平板電極
發(fā)生器*		40KHz 0~100 W 100KHz 0-500W 13.56MHz 0~50 W 或者0~300 W 2.45GHz 0-300W
真空壓力計		指針式壓力計		皮拉尼數(shù)字式壓力計
計時器		模擬數(shù)字式		數(shù)字式
托盤		高硼硅玻璃/石英，不銹鋼
外形尺寸（WXDxH）mm		310-560x420-600x330-860mm
電源		AC220V 50Hz 10A
真空泵		排氣速度不小于4m3/H

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