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在半導(dǎo)體制造中,plasma清洗機(jī)是一種非常重要的設(shè)備,用于清潔和處理半導(dǎo)體器件表面,以確保器件的質(zhì)量和性能。利用高能離子和活性氣體來去除表面的有機(jī)和無機(jī)雜質(zhì),同時(shí)可以改變表面的化學(xué)性質(zhì),從而提高器件的性能。在半導(dǎo)體制造中,plasma清洗機(jī)主要用于以下幾個(gè)方面:1、清洗表面:在半導(dǎo)體器件的制造過程中,表面往往會(huì)被污染或覆蓋有氧化物等雜質(zhì)。這些雜質(zhì)會(huì)影響器件......
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XRD即X射線衍射,通常應(yīng)用于晶體結(jié)構(gòu)的分析。X射線是一種電磁波,入射到晶體時(shí)在晶體中產(chǎn)生周期性變化的電磁場(chǎng)。引起原子中的電子和原子核振動(dòng),因原子核的質(zhì)量很大振動(dòng)忽略不計(jì)。振動(dòng)著的電子是次生X射線的波源,其波長(zhǎng)、周相與入射光相同。基于晶體結(jié)構(gòu)的周期性,晶體中各個(gè)電子的散射波相互干涉相互疊加,稱之為衍射。散射波周相一致相......