Bruker FilmTek CD橢偏儀
——多模態(tài)臨界尺寸測(cè)量和先進(jìn)薄膜計(jì)量學(xué)
FilmTekTM CD光學(xué)臨界尺寸系統(tǒng)是我們解決方案,可用于1x nm設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)及更高級(jí)別的全自動(dòng)化、高通量CD測(cè)量和高級(jí)薄膜分析。該系統(tǒng)同時(shí)提供已知和*未知結(jié)構(gòu)的實(shí)時(shí)多層堆疊特性和CD測(cè)量。
FilmTek CD利用多模測(cè)量技術(shù)來(lái)滿(mǎn)足與開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)中最復(fù)雜的半導(dǎo)體設(shè)計(jì)特征相關(guān)的挑戰(zhàn)性需求。
更新日期:2024-04-18訪問(wèn)量:2151廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
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