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diener真空等離子清洗機(jī)

簡要描述：diener真空等離子清洗機(jī)Femto RIE表面清洗
適用6寸以下樣品的處理
用于硅片、玻璃、塑膠材料表面的處理
配置自動(dòng)/手動(dòng)模式，實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能
桌上型，省空間
適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

  • 所在城市：國外
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新日期：2024-04-09
  • 訪  問  量：2497
詳細(xì)介紹
品牌Diener產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域化工外形尺寸W560?x?D600?x?H860mm
電源AC230?V?/?16?A真空泵排氣速度不小于4m3/H,?極限真空度小于10Pa
工藝氣路單路，雙路，三路工藝氣體O2，Ar，N2，CO2，H2（CF4,SF6，NH3）*1

diener真空等離子清洗機(jī)/低壓等離子系統(tǒng)，適用于等離子清洗、活化、蝕刻及涂層

德國Diener electronic成立于1993年，是一家專門研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機(jī)、等離子射頻電源和大氣（常壓）等離子清洗機(jī)的高科技企業(yè)。

diener真空等離子清洗機(jī)用途：

·適用6寸以下樣品的處理
·用于硅片、玻璃、塑膠材料表面的處理
·配置自動(dòng)/手動(dòng)模式，實(shí)現(xiàn)控制高機(jī)能
·桌上型，省空間
·適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

特點(diǎn)：

表面清洗活化
表面蝕刻

可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序；不會對操作人員的身體造成任何傷害；其成本對于等離子處理方法來說是微不足道的。

參數(shù)：


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