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Diener 等離子蝕刻機

簡要描述：Diener 等離子蝕刻機 ZEPTO RIE特點：
&amp;amp;amp;amp;amp;amp;amp;#183;適用6寸以下樣品的處理

&amp;amp;amp;amp;amp;amp;amp;#183;用于塑膠材料表面的處理

&amp;amp;amp;amp;amp;amp;amp;#183;配置自動/手動模式，實現控制高機能

&amp;amp;amp;amp;amp;amp;amp;#183;桌上型，省空間

&amp;amp;amp;amp;amp;amp;amp;#183;適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

所在城市：上海市
廠商性質：經銷商
更新日期：2024-04-09
訪問量：1613

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Diener

聚對二甲苯涂層常壓等離子等離子蝕刻機等離子去膠機等離子體發(fā)生器等離子表面處理儀低壓等離子表面處理設備查看全部產品

詳細介紹

品牌	其他品牌	價格區(qū)間	面議
產地類別	國產	應用領域	醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,生物產業(yè),農業(yè)

特點：

·適用6寸以下樣品的處理

·用于塑膠材料表面的處理

·配置自動/手動模式，實現控制高機能

·桌上型，省空間

·適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用

Diener 等離子蝕刻機用途：

·表面清洗活化

·表面蝕刻

Diener 等離子蝕刻機 ZEPTO RIE規(guī)格

型號	ZEPTO RIE	Zepto RIE PCCE
控制方式	按鍵操作控制	Windows CE 7”觸摸屏操作控制
操作方式	手動	手動/自動
程序存儲	—	5組
工藝過程監(jiān)控	—	二維折線圖與數字實時顯示
報錯功能	—	顯示詳細的報錯信息
工藝氣路	雙路	單路，雙路
工藝氣體	O2，Ar，N2，CO2，H2
流量計	針閥流量計	MFC流量計
泄氣氣路	一路
真空計	指針式/0-10mbar	數字式/0-9.99mbar
計時器	0-100s 0-1000s(出廠默認) 0-1000s	0~999.9H
真空腔體	不銹鋼圓形腔體蓋子門帶觀察窗尺寸Φ190mm x H60mm 容積1.7L
電極	不銹鋼氣浴RIE電極， Φ160mm
發(fā)生器	40kHz 0~100W，13.56MHz 0 ~50 W，13.56MHz 0 ~300 W
外形尺寸（WxDxH）	425 x 450 x 310mm
電源	AC 230 V / 16 A
真空泵	排氣速度不小于4m3/H, 極限真空度小于10Pa

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