簡要描述:低溫等離子處理設(shè)備,Diener 等離子去膠機(jī) Tetra16專用軟件支持自動/手動操作模式可切換(自動模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權(quán)限分級設(shè)定
產(chǎn)品目錄
品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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樣品腔尺寸 | 250x250x250cm | 控制方式 | 全自動控制(自動/手動切換) |
功率 | 1200W | 氣路 | 1-10 |
樣品腔材質(zhì) | 鋁合金 | 樣品腔容積 | 16LL |
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,電子 |
· Diener 等離子去膠機(jī) Tetra16便捷的觸摸屏操作界面
· 專用軟件支持自動/手動操作模式可切換(自動模式下可儲存多套工藝程序),支持操作權(quán)限分級設(shè)定
· 數(shù)字及圖形化工藝參數(shù)控制及實(shí)時(shí)顯示
· 支持6"/8"/12" wafer的去膠清洗
· 安全及異常報(bào)警功能
· Diener 等離子去膠機(jī) Tetra16多語言:法語、英語,德語,中文
低溫等離子處理設(shè)備用途:
· 干刻或濕刻處理前或后
· SU-8或其他環(huán)氧基樹脂
· MEMS制造中去除犧牲層
·去除光刻膠,SU-8,環(huán)氧樹脂
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