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plasma清洗機(jī)在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用
在半導(dǎo)體制造中,plasma清洗機(jī)是一種非常重要的設(shè)備,用于清潔和處理半導(dǎo)體器件表面,以確保器件的質(zhì)量和性能。利用高能離子和活性氣體來去除表面的有機(jī)和無機(jī)雜質(zhì),同時(shí)可以改變表面的化學(xué)性質(zhì),從而提高器件的性能。在半導(dǎo)體制造中,plasma清洗機(jī)主要用于以下幾個(gè)方面:1、清洗表面:在半導(dǎo)體器件的制造過程中,表面往往會(huì)被污染或覆蓋有氧化物等雜質(zhì)。這些雜質(zhì)會(huì)影響器件......
Diener等離子表面處理設(shè)備德國(guó)Diener是專門生產(chǎn)經(jīng)濟(jì)、可靠的等離子清洗和等離子刻蝕設(shè)備的公司,是世界上材料處理低溫等離子體設(shè)備的市場(chǎng)和技術(shù)者。Diener采用先進(jìn)的集成化技術(shù)開發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz、80KHz、13.56MHz,以及代表等離子應(yīng)用技術(shù)的2.45GHz的等離子清洗機(jī)。目前設(shè)備廣泛應(yīng)用于:等離......
布魯克三維光學(xué)輪廓儀是一款具有高精度、高穩(wěn)定性以及非接觸式測(cè)量特點(diǎn)的設(shè)備,被廣泛應(yīng)用于各種表面形貌測(cè)量場(chǎng)景。其核心優(yōu)勢(shì)在于能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)從微觀到宏觀的各種尺寸物體的表面形貌進(jìn)行快速、準(zhǔn)確的測(cè)量。該輪廓儀采用了先進(jìn)的光學(xué)干涉技術(shù),能夠獲取物體表面的三維形貌數(shù)據(jù)。其非接觸式的測(cè)量方式避免了傳統(tǒng)接觸式測(cè)量可能帶來的表面損傷,同時(shí)......
等離子清洗機(jī)是一種全新的高科技技術(shù),在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面,以達(dá)到全面的清洗目的!而且正確的等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層,表面質(zhì)量得到保證;由于是在真空中進(jìn)行,不污染環(huán)境,保證清洗表面不被二次污染。等離子清洗機(jī)工作原理:等離子清洗機(jī)......
單原子操縱物理機(jī)制當(dāng)距離隨著針尖和表面間的距離的減小,在相同偏置電壓的條件下不僅使針尖和樣品表面間的隧道電流大大增大(可以增大1~2數(shù)量級(jí)),同時(shí)針尖和樣品表面的“電子云”部分重疊,使兩者之間的相互作用也大大增強(qiáng)當(dāng)距離0.6nm時(shí),STM針尖和樣品表面之間的化學(xué)相互作用在單原子操縱過程中不起主導(dǎo)作用,這樣,原子的操縱則......
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