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plasma清洗機在半導體制造中的應用
在半導體制造中,plasma清洗機是一種非常重要的設備,用于清潔和處理半導體器件表面,以確保器件的質(zhì)量和性能。利用高能離子和活性氣體來去除表面的有機和無機雜質(zhì),同時可以改變表面的化學性質(zhì),從而提高器件的性能。在半導體制造中,plasma清洗機主要用于以下幾個方面:1、清洗表面:在半導體器件的制造過程中,表面往往會被污染或覆蓋有氧化物等雜質(zhì)。這些雜質(zhì)會影響器件......
在原子力顯微鏡(AtomicForceMicroscopy,AFM)的系統(tǒng)中,可分成三個部分:力檢測部分、位置檢測部分、反饋系統(tǒng)。力檢測部分在原子力顯微鏡(AFM)的系統(tǒng)中,所要檢測的力是原子與原子之間的范德華力。所以在本系統(tǒng)中是使用微小懸臂(cantilever)來檢測原子之間力的變化量。微懸臂通常由一個一般100~......
臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信......
輪廓儀是對物體的輪廓、二維尺寸、二維位移進行測試與檢驗的儀器,作為精密測量儀器在汽車制造和鐵路行業(yè)的應用十分廣泛??蓽y量各種精密機械零件的素線形狀,直線度、角度、凸度、對數(shù)曲線、槽深、槽寬等參數(shù)。廣泛應用于機械加工、電機、汽配、摩配、精密五金、精密工具、刀具、模具、光學元件等行業(yè)。適用于科研院所、大專院校、計量機構(gòu)和企......
等離子體對材料產(chǎn)生作用的機理處于等離子狀態(tài)的物質(zhì)具有高而不穩(wěn)定的能量水平。如果等離子接觸到固體材料(如塑料和金屬),其能量將作用于固體表面,并導致物體表面的重要性質(zhì)(如表面能量)發(fā)生變化。在各項制造應用領(lǐng)域,可以利用這一原理對材料的表面特性進行有選擇地更改。使用等離子能量對物體表面進行處理,能夠準確且有針對性地提升材料......
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