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在半導(dǎo)體制造中,plasma清洗機(jī)是一種非常重要的設(shè)備,用于清潔和處理半導(dǎo)體器件表面,以確保器件的質(zhì)量和性能。利用高能離子和活性氣體來(lái)去除表面的有機(jī)和無(wú)機(jī)雜質(zhì),同時(shí)可以改變表面的化學(xué)性質(zhì),從而提高器件的性能。在半導(dǎo)體制造中,plasma清洗機(jī)主要用于以下幾個(gè)方面:1、清洗表面:在半導(dǎo)體器件的制造過(guò)程中,表面往往會(huì)被污染或覆蓋有氧化物等雜質(zhì)。這些雜質(zhì)會(huì)影響器件......
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掃描探針顯微鏡的工作原理是基于微觀或介觀范圍的各種物理特性,通過(guò)原子線度的極細(xì)探針在被研究物質(zhì)的表面上方掃描時(shí)檢測(cè)兩者之間的相互作用,以得到被研究物質(zhì)的表面特性,不同類型的SPM之間的主要區(qū)別在于它們的針尖特性及其相應(yīng)的針尖樣品相互作用方式的不同。工作原理來(lái)源于量子力學(xué)中的隧道貫穿原理。其核心是一個(gè)能在樣品表面上掃描、......
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用于科研和工業(yè)研發(fā)的近紅外光致發(fā)光模塊對(duì)于半導(dǎo)體和光電行業(yè)來(lái)說(shuō),光致發(fā)光PL是在研發(fā)過(guò)程中極為重要的一個(gè)實(shí)驗(yàn)工具。在紅外光譜范圍,傅立葉紅外光譜儀比傳統(tǒng)色散型譜儀的靈敏度要高得多。與VERTEX傅立葉紅外譜儀聯(lián)用的PLII模塊提供了業(yè)內(nèi)最靈活和強(qiáng)大的PL分析方案?!た蓪?shí)現(xiàn)對(duì)塊狀樣品、量子阱和量子點(diǎn)樣品的PL分析,在40......
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FTIR傅里葉紅外在硅材料分析中的應(yīng)用用于超高靈敏度硅材料質(zhì)量控制分析的分析儀CryoSAS是一款低溫硅材料分析儀,可用于太陽(yáng)能和電子硅行業(yè)的超高靈敏度質(zhì)量控制。它可以同時(shí)定量分析碳、氧以及淺層雜質(zhì)(如硼、磷、砷等)。根據(jù)ASTM/SEMI標(biāo)準(zhǔn),CryoSAS操作簡(jiǎn)便,無(wú)需液氦等制冷劑。相比于傳統(tǒng)的濕化學(xué)分析法,Cry......
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布魯克bruker臺(tái)階儀輪廓儀可容納高達(dá)350mmx350mm的樣品,為大型晶圓和面板制造帶來(lái)Dektak®傳奇的可重復(fù)性。DektakXTL具有空氣振動(dòng)隔離設(shè)計(jì)和全封閉工作站設(shè)計(jì),具有易用的聯(lián)鎖門,是當(dāng)今苛刻的生產(chǎn)車間環(huán)境的的理想之選。其雙攝像頭架構(gòu)可增強(qiáng)空間感知能力,其高自動(dòng)化水平可大限度地提高測(cè)試通量。增......