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plasma清洗機在半導體制造中的應用
在半導體制造中,plasma清洗機是一種非常重要的設備,用于清潔和處理半導體器件表面,以確保器件的質(zhì)量和性能。利用高能離子和活性氣體來去除表面的有機和無機雜質(zhì),同時可以改變表面的化學性質(zhì),從而提高器件的性能。在半導體制造中,plasma清洗機主要用于以下幾個方面:1、清洗表面:在半導體器件的制造過程中,表面往往會被污染或覆蓋有氧化物等雜質(zhì)。這些雜質(zhì)會影響器件......
科普篇|X射線熒光光譜儀相關專業(yè)名詞解釋一(Xrf)1.XRFXRF是指X射線熒光光譜分析。X射線熒光分析是確定物質(zhì)中微量元素的種類和含量的一種方法,又稱X射線次級發(fā)射光譜分析,是利用原級X射線光子或其它微觀粒子激發(fā)待測物質(zhì)中的原子,使之產(chǎn)生次級的特征X射線(X光熒光)而進行物質(zhì)成分分析和化學態(tài)研究。XRF優(yōu)點:對于已......
等離子清洗機(plasmacleaner)也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術,利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性......
臺階儀屬于接觸式表面形貌測量儀器。根據(jù)使用傳感器的不同,接觸式臺階測量可以分為電感式、壓電式和光電式3種。其測量原理是:當觸針沿被測表面輕輕滑過時,由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時,還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況。傳感器輸出的電信號經(jīng)測量電橋后,輸出與觸針偏離平衡位置的位移成正比的調(diào)幅信......
優(yōu)勢一、清洗對象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的,不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序??梢蕴岣哒麄€工藝流水線的處理效率;二、等離子清洗使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害,同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題;三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑,這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物,因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。......
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